制造芯片的光刻机哪家质量好（制造芯片的光刻机哪家质量好些）
制造芯片的光刻机哪家质量好（制造芯片的光刻机哪家质量好些）
你们要光刻机是用于科研，小规模生产的？SUSS，MYCRO NXQ的，或者ABM的都挺好的，SUSS光刻机很好，只是价格太贵，我认识的一些物理实验室用MYCRO NXQ的
荷兰有一家公司ASML，它是全球做光刻机最好的国家，这个根本不用质疑，这家公司拥有强大的科研实力，碾压了美国英国等等貌似芯片软件实力极强的国家。而且这家公司非常精准的抓住了光刻机技术发展的转折点，旗下的利用光源进行的浸没式系统成功打破所有国家对于光刻机的幻想，所以荷兰才能在全球的芯片制作技术中立于不败之地。
一、荷兰的光刻机全球第一，其他国家无法比敌
荷兰有一家公司叫做ASML，这家公司非常了不得，在经历重重的技术考验、资金考验后，还能维持初心，不断持续的进行研发投入，这个是其他光刻机公司无法比敌的。而且，它对光刻机研发的投入是一年比一年高的。但是在ASML背后，也不得不承认，它是踩在美国和欧盟等国家的肩膀上的，毕竟他们的技术也是从基础一点点做起来的，所以，基础好，未来的发展才会更好。
二、紧抓行业风口，紧跟时代浪潮，不断创新
其实，全球有那么多制造芯片的光刻机公司，为什么ASML却能始终独占鳌头呢，这个与它始终紧跟这个行业的风向也是分不开的。光刻机发展的转折点是在2007年，这一年，是光刻机的三大发展巨头，除了ASML外，还有其他大企业，怎样能在其他大企业的压力下，突出重围，ASML在那一年研发了以光源进行研发的浸没式系统，这个系统开创了自己的先河。
ASML在原始的光源与镜头的基础上，有效的提升了光刻机的蚀刻精度，这是非常具有里程碑意义的一个创新技术，所以，就凭借这一技术，ASML屹立在了光刻机行业的潮头，它抓住了行业的风口，所以，荷兰才能成为全球中制造芯片最好的光刻机国家。
上海℡☎联系：电子装备有限公司的步进式扫描光刻机吧，估计是中国最先进的了。
SSA600/20 步进扫描投影光刻机采用0.75数值孔径和四倍缩小倍率的ArF投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，实现可用于前道IC制造90nm关键层和非关键层的先进光刻设备。此外，该设备通过采用多种可供选择的先进专利照明技术，并配合其他分辨率增强技术，能够满足客户高于90nm分辨率的生产需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。
本人亲自用过，号称能有90nm分辨率但是实际使用情况看2um还是能达到的。6寸、8寸、12寸都能生产，人际界面良好，效率还算可以，跟国外同类型机器相比故障率稍高。
美国最好。光刻机荷兰、中国、日本、美国、韩国可以做。
光刻机就是用光来雕刻的机器，是用来实现光线侵蚀光刻胶的目的。所以说，光刻机就是把很大的电路图，通过透镜缩小到芯片那么大，然后用光线侵蚀掉光刻胶，达到自动形成电路的目的。
光刻机是非常复杂的机械，目前最厉害的光刻机生产商就是荷兰的ASML，他们现在已经能够生产刻出5nm线路的光刻机了。
光刻机的分类
光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动。
手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度不高。
半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。
光刻机是芯片制造的关键设备，我国投入研发的公司有℡☎联系：电子装备(集团)股份，长春光机所，中国科学院等都在研发，合肥芯硕半导体有限公司，先腾光电科技有限公司，先腾光电科技有限公司， 合肥芯硕半导体有限公司都有研发以及制造。而且有了一定的科研成果，但是目前我国高端芯片的制造却主要依赖荷兰进口的光刻机。我国光刻机在不断发展但是与国际三巨头尼康佳能（中高端光刻机市场已基本没落）ASML（中高端市场近乎垄断）比差距很大。
光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口，光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠，研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此，能生产高端光刻机的厂商非常少，到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML，日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸。
上海℡☎联系：电子装备(集团)股份有限光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造领域，2018年出货大概在50-60台之间。营业收入未公布，政府是有大量补贴的。处于技术领先的上海℡☎联系：电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机，制程上的差距就很大，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
2016年11月15日，由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目顺利完成验收前现场测试。在长春光机所、成都光电所、上海光机所、中科院℡☎联系：电子所、北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学等参研单位的共同努力下，历经八年的戮力攻坚，圆满地完成了预定的研究内容与攻关任务，突破了现阶段制约我国极紫外光刻发展的核心光学技术，初步建立了适应于极紫外光刻曝光光学系统研制的加工、检测、镀膜和系统集成平台，为我国光刻技术的可持续发展奠定了坚实的基础。
合肥芯硕半导体有限公司成立与2006年4月,是国内首家半导体直写光刻设备制造商。该公司自主研发的ATD4000,已经实现最高200nm的量产。
无锡影速成立与2015年1月,影速公司是由中科院℡☎联系：电子研究所联合业内资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业℡☎联系：电子装备高科技企业。影速公司已成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备、国际首台双台面高速激光直接成像连线设备(LDI),已经实现最高200nm的量产。无锡影速成立与2015年1月,影速公司是由中科院℡☎联系：电子研究所联合业内资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业℡☎联系：电子装备高科技企业。影速公司已成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备、国际首台双台面高速激光直接成像连线设备(LDI),已经实现最高200nm的量产。
先腾光电成立于2013年4月,已经实现最高200nm的量产,在2014国际半导体设备及材料展览会上,先腾光电亮出了完全自主知识产权的LED光刻机生产技术,震惊四座。
